行業新聞
由該所承擔的國家重大科研裝備研制項目“大型高精度衍射光柵刻劃系統的研制”11日通過驗收，并制造出世界大面積中階梯光柵。這標志著我國大面積高精度光柵制造中的相關技術達到國際水平，結束了在高精度大尺寸光柵制造領域受制于人的局面。
衍射光柵是一種納米精度周期性微結構的精密光學元件，在光譜學、天文學、激光器、光通訊、信息存儲等領域中有重要應用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領，精度高可獲得更好的信噪比，但制造出大而精的光柵是世界性難題。
光柵刻劃機是制作光柵的母機，因其部件的加工裝調精度難，運行保障環境要求高，被譽為“精密機械之王”，本項目研制的光柵刻劃機，幾乎所有關鍵部件都沖擊世界極限水平。研制期間，科研人員突破了精密機械加工、精密光學加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關鍵技術，并研制出面積達400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵，這也是目前世界上面積大的中階梯光柵。
此前，只有美國能夠制作300毫米以上中階梯光柵，我國的中階梯光柵制造能力不足300毫米，精度也達不到10納米精度水平，戰略高技術領域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴格限制。項目負責人、中科院長春光機所研究員唐玉國表示，大型高精度光柵刻劃系統以及大面積中階梯光柵的研制成功，能幫助我國光譜儀器行業擺脫“有器無心”局面，改變我國光譜儀器產業處于行業低端現狀。
衍射光柵是一種納米精度周期性微結構的精密光學元件，在光譜學、天文學、激光器、光通訊、信息存儲等領域中有重要應用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領，精度高可獲得更好的信噪比，但制造出大而精的光柵是世界性難題。
光柵刻劃機是制作光柵的母機，因其部件的加工裝調精度難，運行保障環境要求高，被譽為“精密機械之王”，本項目研制的光柵刻劃機，幾乎所有關鍵部件都沖擊世界極限水平。研制期間，科研人員突破了精密機械加工、精密光學加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關鍵技術，并研制出面積達400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵，這也是目前世界上面積大的中階梯光柵。
此前，只有美國能夠制作300毫米以上中階梯光柵，我國的中階梯光柵制造能力不足300毫米，精度也達不到10納米精度水平，戰略高技術領域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴格限制。項目負責人、中科院長春光機所研究員唐玉國表示，大型高精度光柵刻劃系統以及大面積中階梯光柵的研制成功，能幫助我國光譜儀器行業擺脫“有器無心”局面，改變我國光譜儀器產業處于行業低端現狀。
- 上一個：汽車零部件企業日子真好過了？
- 下一個：發動機零件機加工的5項新技術